脱湿装置の入口側にプレフィルターを設置すると、ミストが除去され性能を安定させることができます。
出口側にアフターフィルターを設置すると、吸着剤の粒子が除去され、クリーンな気体を供給することができます。

さらにファイナルフィルターを設置することで、クリーンルームなどで必要とされる極めて高品質な気体を供給することが可能となります。